В чиповой промышленности пневматические компоненты стали незаменимыми составными частями полупроводникового оборудования, такого как фотолитографии и гравюры, благодаря их сверхвысокой точности, чистоте и надежности.От транспортировки ваферов, фотолитографии до упаковки и испытаний, пневматическая технология не только отвечает строгим требованиям нанопроцессов, но и обеспечивает производительность чипов и эффективность производства за счет беззагрязненности эксплуатации и низких затрат на техническое обслуживание.